border=0

Foarbylden fan apparaten op basis fan MEMS-yndustriële optreden

<== foarige artikel |

Ofbylding A.1 - Gyroscope, accelerometer

Figur B.1 - Absolute druk transducer

Tabel B.1. Spesifikaasjes absolute druk transducer

Meitsere drukromte, MPa 0,1

Power supply, V

5 ± 0,1

Nominale output, mV

40 ... 130

Netlineariteit fan it útfieringssignal,%

<0.2

Brûk ûnbalâns, mV

<± 3 Temperatuerrige, ° C

-50 ... + 100

Temperatuerkoeffizient fan sensibiliteit,% / 10 ° С

minder as 0.15

Temperature drift "nul",% / 10 ° C

minder dan 0,2

Ofmjittingen, mm 20 x 5 x 5

Figur B.2 - Piezoresistive ynertiaal
mikrosysteem foar it mjitten fan lytse besparingen

Tabel B.2. Technyske eigenskippen fan in piezoresistyf inertiaal mikrosystem foar it mjitten fan lytse besparingen.

Accelerationmeitsje, g

2-10

Mikrosystemkristallgrutte, mm

8.0x2.5x0.44

Gewicht fan silisium inertiale mass, mg

2

De karakteristike ôfmjittingen fan siliciumbalken, mikrons

600x20x10

Sensibiliteit oan leverenspannings 9 V, mV / g

1.9

Resonânsjefrekwinsje fan mikrosystem, Hz

1200

Betriebsfrequenzbereich, Hz

fan 0 oant 400

Ofbylding B.3 - Thermoanemometrysk mikrosystem foar it kontrolearjen fan 'e steat fan' e gasmiddel (it pylk nei links liedt de technologyske luchtkavity, en de pylk op 'e rjochter lit gefoelige resistiele eleminten op dûnte hingdielektrike brêgen omsette 1 mikro dicht)

Tabel B.3. Technyske skaaimerken fan it thermo-anemometryske mikrosysteem foar it kontrolearjen fan 'e steat fan' e gasmiddel.

Power supply

5V, 9V

Output signal

0 - 100 mV

Response tiid

gjin mear as 1 s

It oanbod fan kosten te studearjen

fan 0,001 oant 60 l / min

Power consumption

Net mear as 30 kW mei 5 V-spoarferfang

Relative sensibiliteit

Net minder dan 6 mV * mW -1 (l / min) -1

Gewicht

<2 g

Ofmjitting oer elkoar

35 x 15 x 10 mm

<== foarige artikel |





Sjoch ek:

Fullerenes

Tactile sensibiliteit

Pulskompressoren

Algemiene fysiology fan sintoryske systemen. Klassifikaasje fan resepten. Genôch receptors. Mechanoreceptors. Chemoreceptors. Photoreceptors. Thermoreceptors. Algemiene fysiology fan sintoryske systemen

It prinsipe fan 'e operaasje fan it scanning tunneling mikroskoop

Neutronografy

De fysike grûnslach fan de oprjochting fan mikro-en nano-elektro-mechanyske systemen (MEMS)

Untjouwing fan gemyske en biologyske prosessen op it oerflak fan 'e kantlevel. Chemisoripaasje fan submollykale substansjes fan submolgen en oerflaksymyk

Metoaden brûkende feilichheidsgebrûkers

Basjes fan 'e ynteraksje fan elektromagnetyske wellen en partikelbalken mei mate

Return to Table of Contents: Physical Phenomena

Views: 1919

11.45.9.33 © edudocs.fun is net de auteur fan de materialen dy't ynbrocht binne. Mar leveret de mooglikheid fan fergees gebrûk. Is der in fertsjinwurdiging fan 'e autoriteit? Skriuw ús | Feedback .